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통쾌한다슬기196
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반도체 장비에서 tcp와 bias rf 파워의 기능은 무엇인가요?

반도체 장비 건식 식각 장비에서는 rf 파워를 사용합니다.

플라즈마를 만드는 중요한 요소입니다.

여기에서 tcp rf와 bias rf 파워를 사용하는데

각각 어떤 역할을 하는건가요?

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