안녕하세요. 김경태 과학전문가입니다.
반도체 제조에서 글라스 기판은 매우 중요한 역할을 합니다. 글라스 기판은 반도체 제조 공정에서 사용되는 웨이퍼가 부착되는 기판으로, 웨이퍼의 안정성과 제조 공정의 정확성에 큰 영향을 미칩니다.
글라스 기판은 반도체 웨이퍼를 부착할 때, 웨이퍼를 안정적으로 고정시켜 주는 역할을 합니다. 또한, 글라스 기판은 반도체 웨이퍼의 표면을 평평하게 유지시켜 주어, 반도체 제조에서 필요한 정밀도를 유지할 수 있도록 합니다. 또한, 글라스 기판은 반도체 웨이퍼의 열 팽창률과 유사한 열 팽창률을 가지고 있어서, 웨이퍼를 가열하거나 냉각하는 과정에서 웨이퍼가 왜곡되지 않도록 보장합니다.
그리고, 글라스 기판은 반도체 제조 공정에서 사용되는 화학 물질에 대한 내성이 뛰어나기 때문에, 반도체 웨이퍼를 안전하게 보호해 주는 역할도 합니다.