학문
TMAC 이 무엇인지 알수 있을까요?
안녕하세요? TMAC 이 반도체에 관련한 재료라고 어느 인터넷 글에 써있던데요, 구체적으로 어떤 역할을 하는 재료인지 알고 싶습니다.
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안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
TMAC(Trimethylaluminum chloride)는 반도체 제조 공정에서 주로 원자층 증착(ALD)에 사용되는 전구체입니다. 이 물질은 얇고 균일한 산화막이나 금속막을 형성하는 데 도움을 주며 특히 고품질 절연층이나 게이트 절연막 제작에 필수적입니다. 높은 반응성과 정밀한 두께 제어가 가능해 차세대 반도체 공정에서 중요한 역할을 합니다.
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