Q. 반도체공정과 디스플레이 공정 비슷한 점
안녕하세요. 박재화 박사입니다.반도체 공정과 디스플레이 공정은 유사한 공정들이 많이 있습니다. 포토, 식각, 세정, 평탄화 등의 다양한 공정들이 공유되고 있죠. 일반적으로 포토 공정 내에는 스핀코팅이나 노광, 현상 등과 식각에 있어서도 건식이나 습식 공정 등이 있습니다. 증착은 CVD, PVD가 대표적인 공정이고, 박막의 균일도 및 정밀도를 맞추기 위한 표면 평탄화 CMP 또한 핵심적인 역할을 합니다.