반도체 수율을 올리는데 습도제어가 중요한가요?

Question

요즘 반도체 기업들을 보면 수율을 올리기 위해서 많은 노력을 하잖아요.

근데 반도체는 먼지나 습도도 중요하다고 들었는데 반도체 수율을 올리는데 습도제어가 중요한가요?

Answer 1

반도체 수율에서 습도는 중요합니다.

습도 뿐 아니라 온도 등 여러 조건이 정밀하게 통제되고 있습니다.

습도는 반도체 공정에서 노광이나 경화 등의 단계와 밀접하게 관련이 있습니다.

습도가 불필요하게 높으면 케미컬이 공기중 습도와 반응할 수 있기 때문에 습도는 정밀하게 제어됩니다.

반도체 공정은 단순 습도 뿐만아니라, 산소와의 반응을 막기 위해 질소나 할로겐 대기에서 이루어지기도 합니다.