반도체에서 ESC에 들어가는He의 역할은 무엇인가요?

Question

반도체에서 ESC에 들어가는He의 역할은 무엇인가요?

쿨링 역할이라고 하는데

정확하게 어떤기능인건지 잘 모르겠습니다.

이해가 잘 안되요.

쉽게 좀 설명좀 부탁드려요

Answer 1

안녕하세요. 김경태 과학전문가입니다.

1. 열 전도성 개선: He는 높은 열 전도성을 가지고 있어 반도체 칩에서 발생하는 열을 효과적으로 분산시킵니다. 이는 칩의 온도를 낮추고 안정성을 향상시키는 데 도움을 줍니다.

2. 열팽창 보상: 반도체 칩은 열팽창이 발생할 수 있습니다. He는 칩 내부와 외부 사이의 열팽창을 보상하여 칩의 구조적 안정성을 유지합니다.

3. 충격 흡수: He는 칩 주변에서 발생하는 충격이나 진동을 완화하는 역할을 합니다. 이는 칩의 손상을 방지하고 수명을 연장하는 데 도움을 줍니다.

4. 청정 환경 제공: He는 비밀도가 낮아 공기 중의 불순물을 제거하고 칩 주변을 청정한 상태로 유지합니다. 이는 반도체 칩에 대한 외부 오염을 방지하고 성능을 향상시킵니다.

Answer 2

안녕하세요. 조혜은 과학전문가입니다.

반도체 esc 에 들어가는 헬률가스는 아시다시피 웨이퍼 냉각을 위해 사용됩니다. 헬륨은 열전도도가 좋은 가스 (0.1513 W/(mK)이고, 불활성 가스로 화학 반응을 적게 하기 때문입니다. esc 내의 온도를 일정하게 유지하기 위해 헬륨가스를 지속적으로 공급하게 되는데, 분자 크기가 작아 leak 자주 발생합니다.

그럼 답변 읽어주셔서 감사드리며, 도움이 되셨다면 '추천'과 '좋아요' 부탁드리겠습니다:)

Answer 3

안녕하세요. 이충흔 과학전문가입니다.

ESC에 들어가는 He은 wafer cooling 용으로 사용이 됩니다. 열전도도가 매우 좋은 기체이자, 불활성 기체로 화학 반응을 하지 않기 때문입니다.