반도체코팅기술중 Y2O3코팅이 쓰이는 이유는 무엇인가요?

Question

반도체에 관심이 많습니다.

반도체 파츠 코팅기술중 y2o3 코팅이 있는것으로

압니다.

이 코팅이 식각장비에 많이 이용된다는데

이 코팅기술의 장점은 무엇인가요?

Answer 1

안녕하세요. 박준희 과학전문가입니다.

Y2O3가 코팅에 자주 쓰이는데요. 이는 내식성 및 내플라즈마 특성의 보호코팅 소재이기 때문입니다.

최근에는 야그(YAG: Y3Al5O12)가 신규소재로써 점차 도입되고 있습니다.

감사합니다.