반도체코팅기술중 Y2O3코팅이 쓰이는 이유는 무엇인가요?

반도체에 관심이 많습니다.

반도체 파츠 코팅기술중 y2o3 코팅이 있는것으로

압니다.

이 코팅이 식각장비에 많이 이용된다는데

이 코팅기술의 장점은 무엇인가요?