안녕하세요! 손성민 과학전문가입니다.
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etch rate는 각 물질의 원자 바인딩에너지와 직접적인 관련이 있습니다. 바인딩에너지가 높을수록 물질의 원자는 더 강력하게 결합되어 있기 때문에 etch rate가 낮아질 수 있습니다. 하지만 다른 수치와도 함께 고려해야 합니다. 예를 들어 물질의 표면에 존재하는 산소나 수소의 양 그리고 etching 과정에서 사용되는 기체의 종류와 압력 등이 etch rate에 영향을 미칠 수 있습니다. 이를 고려하여 실험을 진행하시면 더 정확한 결과를 얻을 수 있을 것입니다. 감사합니다.
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