반도체에서 정전척을 쓰는 이유는 무엇인가요?
반도체에서는 정전기 방식 척을 사용합니다
정전기 방식으로 웨이퍼를 고정하기 위함이라고 합니다.
정전기 방식을 쓰는 이유는 무엇인가요?
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1개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 장대은 과학전문가입니다.
정전척은 하부전극에서 정전기를 발생시켜 기판과 하부전극의 간격을 일정하게 유지, 기판을 수평상태로 고정시켜 줍니다
반도체 공정용 정전척도 같은 원리를 통해 웨이퍼를 수평상태로 고정시켜주기 위해 사용하는것으로 알고있습니다 ^^
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