반도체 정전척에 대해서 질문좀 드려도 될까요?

Question

반도체에서 사용되는 정천척에 대해서 질문좀 드립니다.

웨이퍼를 과학적인 정전기 방식을 이용하여 고정하는 척으로 알고 있습니다.

그런데 바이폴라와 모노폴라 방식이 있다고 하는데

두가지 방식의 장단점좀 알려주십시요

Answer 1

안녕하세요! 손성민 과학전문가입니다.

웨이퍼를 고정하는 방식으로는 과학적인 정전기 방식을 사용하는 것이 일반적입니다. 그러나 바이폴라와 모노폴라 방식이 있다고 하셨는데 이 두 가지 방식의 장단점에 대해 알려드리겠습니다.

먼저 바이폴라 방식은 웨이퍼를 두 개의 전극으로 고정하는 방식입니다. 이 방식은 웨이퍼의 표면을 더 많이 노출시킬 수 있어서 공정의 정확도를 높일 수 있습니다. 그리고 두 개의 전극을 사용하기 때문에 웨이퍼의 안정성도 높아집니다. 하지만 두 개의 전극을 사용하기 때문에 비용이 더 들어가는 단점이 있습니다.

반면 모노폴라 방식은 웨이퍼를 하나의 전극으로 고정하는 방식입니다. 이 방식은 바이폴라 방식보다 비용이 저렴하고 웨이퍼를 고정하는 과정이 간단하여 생산성이 높아집니다. 그러나 웨이퍼의 표면을 노출시키는 면적이 적어 공정의 정확도가 떨어질 수 있습니다.

따라서 바이폴라 방식은 정밀한 공정에 적합하고 모노폴라 방식은 대량 생산에 적합하다고 할 수 있습니다.

도움이 되셨다면 아래 추천과 좋아요 부탁드립니다.

Answer 2

안녕하세요. 장대은 과학전문가입니다.

기존의 모든 전극에 전기를 공급하여 전기분해를 하는 모노폴라(Mono-Polar) 방식은 전류의 량이 너무 많아 전선의 굵기 및 정류기의 크기 등 장치의 크기가 너무 커져 경제성이 떨어지는 반면 바이폴라 방식을 이용하면 전극의 양끝에만 전기를 공급하므로 전류의 량을 대폭 줄일 수 있는 장점이 있다.

전기분해에 있어서 가장 큰 문제는 전극 오염의 문제이다. 전기분해를 행하다 보면 전극판 사이에 오염물질이 조금씩 쌓여 차후 전기 쇼트가 발생하는데 이는 정류기뿐만 아니라 전체적인 장치에 문제가 발생한다. 전해수의 농도조절이 가능하여야 다양한 용도의 활용이 가능할 것이다.