반도체에서 사용되는 정천척에 대해서 질문좀 드립니다.
웨이퍼를 과학적인 정전기 방식을 이용하여 고정하는 척으로 알고 있습니다.
그런데 바이폴라와 모노폴라 방식이 있다고 하는데
두가지 방식의 장단점좀 알려주십시요
