SEM image를 얻기위해 ion coating을하는데요 사진에있는 이온코터기의 원리가 궁금해요

Question

이온 코터기로 금속표면에 이온 코팅을해준다는데 그 원리가 갑자기 궁금해지네요;; 혹시 sem장비에대해 이해도가 높으신분계실까요? 설명 좀 부탁드리겠습니다 >.<;;

김철승 전문가 · Accepted Answer

안녕하세요. 김철승 과학전문가입니다.이온 코터기는 진공 상태에서 이온화된금속 원자를 기판 표면에 증착시켜 이온 코팅을 만드는 장비입니다.챔버 내부를 진공 상태로 만들어 금속 원자의 이동을 방해하는 기체 분자를 제거합니다.전자빔 또는 플라즈마를 사용하여 금속 원자를 이온화합니다. 이온화된 금속 원자는 양전하를 띠게 됩니다.전기장을 사용하여 이온화된 금속 원자를기판 표면에 향해 가속합니다.가속된 이온화된 금속 원자가 기판 표면에충돌하여 이온 코팅을 형성합니다.이온 충격으로 인해 기판 표면과 이온 코팅 사이의 접착력이 높아집니다.이온 충격으로 인해 코팅 층의 밀도가높아져 핀홀 및 기포가 적습니다.코팅 층의 표면 거칠기가 낮고 균일하여 우수한 표면 특성을 가집니다.다양한 금속을 이온화하여 다양한 이온 코팅을 만들 수 있습니다.SEM은 전자빔을 이용하여 시료 표면의 미세 구조를 관찰하는 장비입니다.비전도성 시료의 경우 이온 코팅을 통해 표면에 전도성을 부여하여 SEM 관찰이 가능합니다.이온 코팅을 통해 시료 표면을 보호하여 SEM 관찰 과정에서 발생할 수 있는 손상을 방지할 수 있습니다.이온 코팅을 통해 시료 표면의 전기적 특성을변화시켜 SEM 이미지의 분해능을 향상시킬 수 있습니다.반도체, 칩, 커넥터 등 전자 부품 제조할 때 사용됩니다. 인공 관절, 심장 박동기, 혈관 스텐트 등 의료 기기 제조할 때 사용됩니다. 렌즈, 거울, 필터 등 광학 소자 제조할 때 사용됩니다. 엔진 부품, 변속기 부품, 차체 부품 등 자동차 부품 제조할 때 사용됩니다. 도금, 절삭, 용접 등 금속 가공할 때 사용됩니다.이온 코터기에는 DC 이온 코터기, RF 이온 코터기, 마그네트론 이온 코터기 있고,이온 코팅의에는  금속 이온 코팅, 화합물 이온 코팅, 세라믹 이온 코팅기가 있구요.SEM 장비에는  FE-SEM, FIB-SEM, ESEM 가 있습니다.답변이 마음에 드셨다면 좋아요와 추천을 부탁드립니다.

전기·전자

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