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반도체 부품 중에 ESC 정전척에 대해 자세히 아시는 분 있을까요?

반도체 부품 중에 ESC 정전척에 대해 자세히 아시는 분 있을까요? 이쪽 관련 지식이 없는데 업무를 하다보니 필요할 때가 있어서 공유 부탁드리겠습니다.

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