반도체에서 ashing 공정은 무슨 공정이고 어떤 기술적 원리인가요?

반도체 공정 문의좀 드리겠습니다.

반도체 공정에서 애싱(ashing)공정은 무엇인가요?

또 어떤 막질을 제거하는 건가요?

어떤 기술을 사용하나요?