반도체에서 ashing 공정은 무슨 공정이고 어떤 기술적 원리인가요?
반도체 공정 문의좀 드리겠습니다.
반도체 공정에서 애싱(ashing)공정은 무엇인가요?
또 어떤 막질을 제거하는 건가요?
어떤 기술을 사용하나요?
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1개의 답변이 있어요!안녕하세요. 파란만장인생끝내자입니다.
반도체 공정에서 감광막을 제거하는 공정입니다. 감광막은 포토리소그래픽 공정을 통해 회로 패턴을 형성하는 데 사용되는 물질로, 식각 공정 이후 제거해야 합니다.