산화공정은 반도체 소자 형성에 어떤 기여를 하나요?

Question

반도체를 만드는 전공정에 있어서 산화공정이라는게 있습니다 그렇다면 이 산화공정에서 반도체의 소자 형성을 하는데 있어서 어떤 기여를 하는건가요

Answer 1

안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.

반도체 전공정의 산화공정은 실리콘 표면에 얇은 산화막을 형성하여 소자의 핵심 절연층이나 보호층으로 활용됩니다. 이 산화막은 트랜지스터 게이트 절연 소자 간 전기적 분리 불순물 확산 차단 등 중요한 역할을 하며 소자의 성능과 신뢰성을 크게 좌우합니다. 따라서 산화공정은 미세 공정에서 소자 형성을 가능하게 하는 핵심 기반 기술입니다.