안녕하세요. 이혜수 전문가입니다.
KAIST와 제네바 대학교 연구팀이 개발한 기술은 고주파 전기장을 이용해서 표면을 정밀하게 가공하는 기술입니다. 핵심 원리로는 고주파 전기장을 반도체 표면에 인가하여 표면의 원자층을 조절하는 것인데요. 기존의 반도체 표면 가공은 주로 화학적 식각이나 물리적 증착을 통해서 이루어졌습니다. 하지만 이 새로 개발된 기술은 고주파 전기장을 이용해서 반도체의 원자 구조를 직접 제어하거나 불순물을 제거하하는 방식으로 화학물질을 사용하지 않으면서도 정밀하게 표면을 가공할 수 있습니다.
이 기술은 반도체 산업뿐만 아니라 다양한 분야에서도 사용이 가능합니다. 전기장 조절로 원자 단위의 정밀한 가공이 가능하기 때문에 반도체 소자 성능 향상에도 기여할 수 있습니다. 또 차세대 디스플레이와 태양전지, 생명과학 및 센서 기술에도 사용이 가능하겠지요.
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