반도체 공정중에 나오는 각종 유해가스를 제거하는 장비가 스크러버 장비라고 하는데 스크러버가 뭔지 궁금합니다.

Question

반도체 공정중에 나오는 각종 유해가스를 제거하는 장비가 스크러버 장비라고 하는데 반도체 공정중에 중요한 스크러버가 뭔지 궁금합니다.

Answer 1

안녕하세요. 김학영 과학전문가입니다. 반도체 공정 중 스크러버(Scrubber)란, 공정에서 발생하는 유해 가스나 화학 물질 등을 제거하기 위한 장비를 말합니다. 이러한 유해 가스나 화학 물질은 반도체 제조에 필수적인 공정 중 일부에서 발생하는데, 이러한 물질들이 공정 내에 잔류하게 되면 제품의 품질 저하와 생산량 감소 등의 문제가 발생할 수 있습니다.

스크러버는 공정에서 발생한 유해 가스나 화학 물질을 흡착 또는 화학 반응을 이용해 제거하는 장비로, 대표적으로 드라이 스크러버(Dry Scrubber)와 웻 스크러버(Wet Scrubber)가 있습니다. 드라이 스크러버는 유해 가스나 화학 물질을 화학 반응을 통해 제거하는 방식으로, 웻 스크러버는 유해 가스나 화학 물질을 물에 녹여 제거하는 방식으로 작동합니다.

스크러버 장비는 반도체 제조에서 필수적인 장비 중 하나로, 반도체 제조 시설 내에서 꼭 설치되어 있어야 합니다.

Answer 2

반도체 제조 시설("팹"이라고도 함)에서 스크러버는 잠재적으로 유해한 화학물질과 입자의 공기를 정화하는 데 사용되는 장치입니다.

반도체 제조 공정에서는 대기 중으로 방출될 경우 인체나 환경에 유해할 수 있는 다양한 화학물질이 사용됩니다. 스크러버는 이러한 화학물질이 외부 환경으로 방출되기 전에 공기를 여과하고 제거하는 데 사용됩니다.

스크러버는 일반적으로 공기에서 유해한 화학물질과 입자를 제거하는 일련의 필터와 기타 정화 부품으로 구성됩니다. 이러한 구성 요소에는 휘발성 유기 화합물(VOC)을 흡수하는 활성탄과 작은 입자와 먼지를 포집하는 HEPA 필터가 포함될 수 있습니다. 스크러버에는 제거할 특정 오염 물질에 따라 다른 유형의 필터나 화학 처리 공정이 포함될 수도 있습니다.

Answer 3

안녕하세요. 김민규 과학전문가입니다.

scrubber는 반도체에서 gas를 사용하는 공정 (CVD,Etch등 )에서 매우 중요한 부대설비의 하나입니다

Answer 4

안녕하세요. 김경태 과학전문가입니다.

반도체 공정에서 스크러버(scrubber)란, 반도체 제조과정 중에 발생하는 유해가스를 제거하기 위한 장비를 말합니다. 이러한 유해가스들은 반도체 제조과정에서 필수적으로 사용되는 화학물질들의 증발, 반응 등에 의해 발생합니다.

스크러버는 이러한 유해가스를 신속하게 제거하여, 작업자의 건강과 안전을 보호하고, 제조 공정의 안정성과 품질을 유지하는 역할을 합니다. 스크러버는 일반적으로 활성탄, 산화물, 수화물 등의 흡착제를 사용하여 유해가스를 제거합니다.

스크러버는 반도체 제조 공정 중에서 가장 중요한 장비 중 하나입니다. 만약 유해가스를 효과적으로 제거하지 못하면 반도체 제조과정에서 발생하는 불쾌한 냄새, 폭발 위험, 환경오염, 제조 공정의 불안정성 등 다양한 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 반도체 제조에서는 스크러버를 효율적으로 운영하고 유지보수하는 것이 매우 중요합니다.