안녕하세요. 김학영 과학전문가입니다. 반도체용 포토레지스트(photoresist)는 반도체 제조 과정에서 사용되는 물질로, 미세한 회로 및 패턴을 만드는 데 사용됩니다.
반도체 제조 과정에서는 일반적으로 미세한 회로 및 패턴을 만들기 위해 광원을 이용하여 미세한 이미지를 반도체 판 위에 만들어야 합니다. 이때 포토레지스트가 사용됩니다. 포토레지스트는 광을 받으면 화학적인 반응을 일으켜 경화되는 특성을 가지고 있습니다. 따라서 포토레지스트를 반도체 판 위에 바르고, 광원을 이용하여 미세한 이미지를 만들면, 이미지를 받은 부분은 경화되고, 받지 못한 부분은 경화되지 않습니다. 이렇게 경화된 포토레지스트를 이용하여 반도체 제조 과정에서 미세한 회로 및 패턴을 만들 수 있습니다.
반도체용 포토레지스트는 다양한 종류가 있으며, 사용되는 광의 파장에 따라서 미세한 회로 및 패턴의 크기와 형태가 달라질 수 있습니다. 또한, 포토레지스트를 사용한 미세 회로 및 패턴 제작 기술은 반도체 제조 과정에서 핵심적인 역할을 하고 있습니다.