반도체 제조 공정에서 사용되는 리소그래피와 에칭은 무엇이며, 반도체 제조 과정에서 어떤 역할을 하는지 알려주세요.

Question

반도체 제조 공정에서 사용되는 리소그래피와 에칭은 무엇이며, 반도체 제조 과정에서 어떤 역할을 하는지 알려주세요. 궁굼합니다

Answer 1

안녕하세요. 김경태 과학전문가입니다.

반도체 제조 공정에서 사용되는 리소그래피는 반도체 칩 위에 회로를 만드는 기술입니다. 리소그래피 과정에서는 빛을 이용하여 반도체 칩 위에 회로를 만드는데, 이를 위해서는 먼저 광원에서 빛을 발생시켜 레진으로 된 마스크를 비추어 반도체 칩 위에 패턴을 만듭니다. 그리고 이를 토대로 회로를 만들기 위해 에칭과정을 거쳐 반도체 칩 위의 불필요한 부분을 제거합니다.

리소그래피와 에칭은 반도체 제조 과정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 리소그래피를 통해 반도체 칩 위에 정밀한 회로를 만들 수 있으며, 이를 통해 반도체 칩의 기능을 최적화할 수 있습니다. 또한, 에칭 과정을 통해 반도체 칩 위의 불필요한 부분을 제거함으로써, 정확한 회로를 만들 수 있으며, 반도체 칩의 기능을 향상시킬 수 있습니다.

Answer 2

안녕하세요. 이상현 과학전문가입니다.

리소그래피는 포토레지스트를 깔고 자외선을 쐬어주어 굳히거나 녹여 일정한 패턴을 만드는작업이고, 에칭은 화학적으로나 물리적으로 레이어를 깎아 패턴을 만드는방법입니다.