반도체 검사장비에는 무엇이 있나요?

Question

반도체는 조금의 오류도 있어서는 안 된다고 알고 있는데요. 반도체 성능을 테스트하는 검사장비의 종류에는 무엇이 있는지 궁금합니다.

Answer 1

안녕하세요. 서종현 전문가입니다.

반도체 검사장비에는 여러종류가있습닏.

1. 웨이퍼 검사기(Wafer Inspection System) : 웨이퍼의 결함을 검사합니다.

2. 전기적 테스트장비(Electrical Test Equipment) : 반도체 소자의 전기적 특성을 측정합니다.

3. X-ray 검사기 (X-ray Inspection System) : 내부 구조를 검사하여 결함을 발견합니다.

4. 자동광학검사기(Automated Optical Inspection,AOI) : 칩의 표면 결함을 검사합니다.

5. 신뢰성 테스트 장비(Reliabillity Test Equipment) : 열,습도 등 극한 환경에서 성능을 평가합니다.

Answer 2

안녕하세요.

반도체 검사장비는 크게 웨이퍼 검사, 패키징 검사, 최종 테스트로 나뉘어 집니다.

1. 웨이퍼 검사: 광학 검사 장비, 전자빔 검사 장비 → 미세 결함 탐지

2. 패키징 검사: X-ray 검사, AOI(광학 검사) → 내부 접합·외관 검사

3. 최종 테스트: ATE(자동 테스트 장비) → 전기 신호 테스트

각 단계에서 정밀한 검사를 통해 불량을 걸러내고 성능을 보장합니다

Answer 3

안녕하세요. 김민규 전문가입니다.

ICT 또는 직접 육안으로 검사하는 방법 등이 있습니다. 기본적으로 소자들이 제대로 삽입이 되었는지 그리고 기능의 문제가 없는지 등이 검사됩니다.

Answer 4

안녕하세요. 조일현 전문가입니다.

반도체 검사장비로는 웨어퍼 검사장지, 패키지 검사장비,모듈 검사장비,ATE(Automated Test Equipment) 등이

있으며 반도체의 전기적 특성, 기능, 신뢰성을 평가하여 불량을 조기에 발견하고 제품의 품질을 보장하는데,

중요한 역할을 합니다.