박막을 제조하는 대표적인 방법에는 어떤 것들이 있나요?

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박막은 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 분야에서 핵심적인 역할을 하는 얇은 층인데요 이 바막을 제조하는 대표적인 방법에는 어떤 것들이 있나요?