학문
반도체 웨이퍼의 표면 결함이 전자 소자 성능 저하로 이어지는 이유는?
안녕하세요. 반도체 공정에 사용되는 웨이퍼의 결함은 전류 경로에 영향을 줄 수 있다고 하는데, 반도체 웨이퍼의 표면 결함이 전자 소자 성능 저하로 이어지는 물리적 이유는 무엇인지 궁금합니다.
55글자 더 채워주세요.
2개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
반도체 웨이퍼의 펴면 결함은 결정 격자의 불완전함이나 불순물로 인해 전자의 이동 경로에 전위 장벽이나 트랩을 형성하게 됩니다 이러한 결함은 전자의 흐름을 방해하거나 누설 전류를 증가시켜 소자의 스위칭 속도와 전력효율을 저하시킵니다
안녕하세요. 김찬우 전문가입니다.
웨이퍼의 표면에 물리적으로 스크레치와 같은 결함은 웨이퍼의 전기적 특성에 영향을 미칠 수 있기 때문입니다.
웨이퍼 내부에는 다양한 패턴이 인쇄되어 있는데 이곳에 잔류물이나 스크레치가 있으면 전류가 제대로 이동하지 못하게 되고 단락이 발생하거나 누설전류가 발생하여 불량율을 높일 수 있기 때문입니다.
그럼 답변 읽어주셔서 감사드립니다~! 더 궁금한게 있으시면 언제든지 문의 주십시요:)
장도연이 추천하는 아하!
앱으로 편리하게 사용해 보세요.