안녕하세요. 김학영 과학전문가입니다.반도체 제조공정에서 포토공정은 광원을 이용해 반도체에 회로를 그리는 과정입니다. 마스크는 이 과정에서 사용되는 핵심적인 장비입니다. 마스크는 광원을 통해 반도체 위에 회로를 그릴 때 사용되는 패턴을 포함한 유리판이나 필름입니다. 마스크는 회로 패턴을 만들기 위해 초경량 원판에 패턴을 그리고, 반사율이 낮은 크롬을 코팅한 후, 불투명한 영역을 노광할 때 광선이 차단될 수 있도록 염화알루미늄과 같은 물질을 코팅하여 만들어집니다.
마스크는 반도체 제조 과정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 마스크의 패턴이 작고 정밀할수록 반도체의 집적도가 높아질 수 있습니다. 따라서 현대 반도체 제조에서는 마스크 제조 기술의 발전이 매우 중요한 이슈 중 하나입니다.
