Plasma etch 공정이 먼가요

Question

특징이 뭔가요?

Ccp에 대해 자세히 알고 싶습니다.

어떤 특성이있으며 장단점이 무엇이있을까요?

박사님들 의견부탁드립니다.

Answer 1

안녕하세요

플라즈마 식각 공정은 반도체 제조에서 필수적인 기술로 프라즈마를 이용하여 원하는 패턴으로 박막을 정밀하게 제거 하는 겁니다 플라즈마 식각은 미세한 회로를 만들어내는 중요한 역할을 합니다