인조반정으로 폐위된 광해군은 어떤 처벌을 받았나요?

조선시대 15대 왕인 광해군은 폭군으로 기록된 왕으로 결국 인조반정으로 폐위가 되었습니다. 보통 폐위된 왕은 죽음을 당하는 것으로 알고 있는데 광해군은 어떤 처벌을 받았나요?