스크린도어는 언제, 누가 만들었나요?

안녕하세요? 지하철의 스크린도어가 이제는 대부분 도입이 되어있잖아요. 안전을 위해 설치된 스크린도어는 누가 언제 만들었나요? 제일 먼저 도입된 지하철은 몇호선인지도 궁금합니다.