Ebsd 장비는 어떤 원리 인건가요?,??
안녕하세요.
최근에 금속 분석 장비를 들어봤는데
Ebsd 장비는 어떤 원리로 분석을 하는건가요??
원리를 알려주시면 감사하겠습니다.
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1개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 형성민 과학전문가입니다.
EBSD(Electron Backscatter Diffraction) 분석은 전자기계장치학적 형상(크기, 방향) 분석을 위한 기술입니다. 이 기술은 SEM(주사전자현미경)으로 샘플 표면을 스캔하면서 샘플에서 되돌아온 후방산란전자의 패턴을 수집하여 샘플의 입체적인 결정 방향을 식별하는 기술입니다. 이 방식은 결정의 방향, 결정 성장 역사, 결정 경계, 변형 및 석출된 상태 등 다양한 물리적 현상을 파악하는 데 사용됩니다.
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