세라믹 소재가 반도체 공정에 활용되는 방식은?

Question

안녕하십니까.

재료 중에 다양한 분류가 있습니다. 그 중에서 세라믹이 반도체 제조 장비와 공정에서 필수라고 하는데 ,실제로 어떻게 활용이 되고 있을지에 대해서 전문가 분들의 의견 부탁드립니다.

Answer 1

안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.

세마릭은 반도체 제조 장비에서 높은 절연성 내열성 내화확성을 갖추고 있어 플라즈마 식각이나 중착 공정에서 부식 오염을 막는 핵심 소재로 활용됩니다 웨이퍼를 고정하는 척 플라즈마 발생용 절연 부품 고온 공정용 히터 및 가스 분배기 등에 필수적으로 쓰입니다 세라믹이 없으면 반도체 장비의 정밀성과 내구성이 크게 떨어지므로 생산 수율 확보와 미세 구현에 사실과 불가결한 소재라고 할 수 있습니다

Answer 2

안녕하세요.

세라믹은 반도체 장비에서 빠질 수 없는 중요한 재료입니다. 전기가 잘 안 통하기도 하고, 열이나 플라즈마에도 강하다 보니, 웨이퍼를 붙잡는 척이나 식각 챔버 안쪽 부품들에도 상당히 많이 쓰입니다. 그리고 가스를 뿌려주는 샤워헤드 같은 곳에도 활용되고 있습니다. 대표적으로 알루미나나 질화규소 같은 특수 세라믹은 뜨거운 공정에서도 잘 버텨서, 반도체가 안정적으로 만들어질 수 있게 도와주게 됩니다.