나노 스케일 기계 부품의 제조를 위한 정밀도 제어 기술

안녕하세요.

기계 부품들이 상당히 작은 사이즈 즉, 나노 수준으로 작은 나노 스케일의 기계 부품을 제조하기 위해서 정밀도를 제어할 수 있는 기술들은 어떤 것이 있는지 궁금합니다.