학문
디스플레이 장비 ESC 에서 HE 쿨링 방식?
HE 이 쿨링에 사용된다는데 어떤 원리로 쿨링을 하는 건가요?
GLS 하부전극사이에서 HE이 열전달을 한다?
HE이 하부전극과 GLS사이를 흐르면서 쿨링을한다?
위의 방식이아니면 도대체 어떤 방식일까요????,
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2개의 답변이 있어요!
안녕하세요. 강세훈 전문가입니다.
HE 쿨링 방식은 주로 열전달을 통해 디스플레이 장비의 온도를 조절하는 원리입니다.
이 방식에서는 HE가 하부전극과 GLS 사이를 흐르면서 열을 흡수하고 이를 외부로 방출하여 쿨링 효과를 발생시킵니다. HE는 열전도성이 뛰어나기 때문에 하부전극에서 발생하는 열을 효과적으로 전달받아 주변으로 분산시키는 역할을 합니다. 이 과정에서 HE가 흐르는 경로와 속도에 따라 쿨링 효율이 달라질 수 있으며 이는 장비의 성능과 안정성에 중요한 영향을 미칩니다. 따라서 HE 쿨링 방식은 디스플레이 장비의 열 관리를 위한 효과적인 방법으로 활용됩니다.
안녕하세요. 조일현 전문가입니다.
헬륨 쿨링 방식은 ESCD와 GLS사이에서 이루어 집니다.
헬륨 주입-ESC웨이퍼 틈새 흡수-GLS 열방출- 재압축 및 순환 으로 쿨링 사이클이 돕니다.