안녕하세요. 김찬우 전문가입니다.
어닐링 공정은 반도체 제조 공정중 하나 입니다. 쉽게 설명해 드리면 특정 재료의 표면을 변형시키기 위해 표면을 고온으로 가열한 뒤에 다시 차가운 온도로 냉각시키면서 재료의 성질을 바꾸는 작업입니다.
보통 칼을 만드는 과정을 상상하시면 되는데 작은 금속을 열에 녹이고 물리적으로 쳐서 편 뒤 다시 식히는 담금질 작업과 유사합니다.
반도체에서는 반도체가 이온을 전달하도록 만들기 위해, 도체와 부도체의 성질을 가지도록 만들기 위해 반도체의 주원료인 규소에 불순물을 섞어 반도체로 만드는 과정입니다.
그럼 답변 읽어주셔서 감사드립니다~! 더 궁금한게 있으시면 언제든지 문의 주십시요:)