안녕하세요. 김학영 과학전문가입니다. SEM은 Scanning Electron Microscope의 약자로, 전자 광학 렌즈와 전자 촬영기로 구성되어 있습니다. SEM에서는 샘플에 전자를 쏘아 고에너지 전자와 저에너지 전자로 구분된 전자 광선을 만들어냅니다. 이 광선은 샘플 표면에서 반사되거나 재배향(reflecting or scattering)된 전자를 검출해 이미지를 생성합니다.
FE-SEM은 Field Emission Scanning Electron Microscope의 약자로, SEM보다 더 높은 해상도를 제공합니다. 이는 FE-SEM이 전자 광선을 생성할 때 필드 방출(FE, Field Emission)원리를 이용하여 더 낮은 에너지의 전자를 만들어내기 때문입니다.
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