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통쾌한다슬기196
23.11.21
반도체에서 OCD의 의미는 무엇인가요?
반도체에서 공정 진행후 CD(선폭)를 측정합니다.
그리고 여러가지 측정 팩터가 많은데
이때 측정하는 OCD란 항목도 측정하는데
이건 어떤 계측인가요?
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