Fib장비가 무엇인지 알고싶습니다.
안녕하세요? 반도체 분야에 대한 저널을 보다가 focused ion beam 장비에 대해서 나오는데요 이것은 무엇을 위한 장비인지 궁금합니다.
안녕하세요. 김경태 전문가입니다.
Focused ion beam장비는 반도체 산업 및 나노기술 분야에서 사용되는 고급 분석 및 조작 장비입니다. FIB는 이온 빔을 집중시켜 샘플의 표면을 조사하고 가공하는 데 사용됩니다.
주요 용도는 샘플의 표면을 이미지화하여 나노 스케일에서의 세부 구조를 관찰합니다.
나노 스케일에서의 조각, 절단, 밀링 등의 가공을 수행하여 반도체 소자의 제조 및 수정을 지원합니다.
회로 보정, 결함 분석, 회로 수정 등의 작업을 수행하여 반도체 장치의 개발 및 품질 향상을 지원합니다.
안녕하세요. 한성민 전문가입니다.
집속 이온빔 장비라고도 불립니다. 표면에 대한 이미지를 촬영하거나, 표면을 가공할때 많이 사용하는 것으로 알고 있습니다.
특허문헌들을 보면 Fib image를 별도로 첨부해서 제품의 면 품위가 향상된 것을 직접적으로 보여주기도 합니다.
안녕하세요.
FIB는 여러가지로 사용되며, focused ion beam의 약자로 사용됩니다. FIB는 주로 SEM(scanning electron microscopy)에 장착되어 특정 물질은 전자현미경으로 관찰하며 물질을 가공 분석하는데 사용됩니다. 여기는 갈륨 이온을 사용하여 빔을 생성시키며, 시료에 빔을 집중 시켜 가공하며, 미세한 가공이 가능해 TEM 시편 제작에도 사용되기도 합니다.
안녕하세요. 김재훈 전문가입니다.
반도체 분야에서 집중이온빔 (FIB) 장비는 마치 미세한 수술 도구처럼 사용되는 고성능 장비입니다
이 장비는 매우 얇고 정밀한 이온 빔을 쏘아 시료의 표면을 깎아내거나 특정 부분을 입혀 매우 작은
구조물을 만들거나 제거하는 작업을 수행합니다. 마치 조각칼로 미세한 조각을 하는 것과 같다고
생각하면 쉽습니다. 이러한 특징 때문에 FIB는 반도체 소자의 미세 구조 분석, 회로 수정, 새로운
소재 개발 등 다양한 분야에서 필수적인 역할을 하고 있습니다. 예를 들어 반도체 칩의 특정 부분을
깎아내어 내부 구조를 관찰하거나 고장난 회로를 수정하여 제품의 수명을 연장하는 데 활용될수 있습니다