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혜종이 즉위하면서 황제가 연달아 교체되는 혼란기는 종식되나 이미 원나라는 권신들의 권력다툼, 홍건적과 같은 한족들의 반란, 흑사병의 창궐 등으로 점점 쇠퇴하고 있었고 결국 1351년 홍건적의 난이 일어났고 홍건적 중 두각을 나타낸 주원장이 1368년 명나라의 건국을 선언, 주원장은 명나라 건국 직후 대규모 북벌을 단행하여 원의 수도 대도를 함락시켰고, 혜종은 북쪽의 몽골 고원으로 달아나면서 북원이 성립됩니다.
북원은 중원을 되찾기 위해 명군과의 전쟁을 계속 벌이지만 성과는 없었고, 북원의 제3대 황제인 천원제로부터 찬탈한 조리그투 칸이 원나라의 황제직을 버리고 봉골 대칸의 지위만 잇기로 하면서 1388년 원나라는 멸망하게 됩니다.