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영종이 2개월만에 붕어하면서 고려의 대청도로 유배를 가 있던 명종의 장남 토곤테무르가 1333년 원나라 제 11대 황제이자 마지막 황제인 혜종으로 즉위, 혜종이 즉위하면서 황제가 연달아 교체되는 혼란기는 종식되었으나 이미 원나라는 권신들의 권력다툼, 홍건적과 같은 한족들의 반란, 흑사병의 창궐 등으로 쇠퇴하고 있었습니다.
1351년 홍건적의 난이 일어났고 홍건적 중 두각을 나타낸 주원장이 1358년 명나라의 건국을 선언, 주원장은 명나라 건국 직후 대규모 북벌을 단행해 원의 수도 대도를 함락, 혜종은 북쪽의 몽골 고원으로 달아나며 북원이 성립됩니다.
북원은 중원을 되찾기 위해 명군과 전쟁을 벌이지만 큰 성과는 없었고 북원의 제 3대 황제인 천원제로부터 제위를 찬탈한 조리그투 칸이 원나라의 황제직을 버리고 몽골 대칸의 지위만 잇기로 하면서 1388년 원나라는 완전히 멸망하게 됩니다.